계장기술(PROCON)

특별기고 infiTOF를 이용한 반도체 가스 분석 솔루션

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작성자 최고관리자 댓글 0건 조회 42회 작성일 23-11-15 11:23

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- DX 추진 지원, 일본 국내 본질 안전 방폭구조 및 굴절률계 소개


서 론
 
반도체 업계는 최근 몇 년 동안 현저한 디바이스의 소형화와 고집적화에 따라 제조 프로세스에 대한 재료 및 유틸리티에 대한 관리 기준이 엄격해지고 있다.
 이 때문에 계측이나 모니터링해야 할 매개변수도 다양해지고, 한층 더 높은 고정밀화가 요구된다. ㈜일본카노맥스는 1934년 창업 이래 기류나 수류 등의 ‘흐름’을 계측하거나, 미립자나 가스 등의 각종 계측기나 분석 기기를 개발하여 제공하고 있다.

본 론


1. infiTOF 소개
본고에서는 일본카노맥스㈜의 그룹 기업인 당사가 최첨단 반도체 제조 과정 및 연구 개발 분야에서 활용되고 있는 infiTOF(사진 1)를 소개한다. 또한 infi TOF 개발 제조사인 MSI.TOKY㈜는 2022년 7월 1일자로 당사에 재편되었다.

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infiTOF는 오사카 대학이 개발한 멀티턴 기술을 탑재한 비행 시간형 질량 분석계(TOFMS)이다. 폐쇄계 동일 궤도를 주회하여 비행 거리를 늘리기 때문에 소형이면서 대형 기기와 동일한 높은 질량 분해능을 갖는 것을 특징으로 한다(그림 1).

infi TOF는 프로세스 챔버 내의 각종 가스 성분을 고질량 분해능으로 실시간 모니터링할 수 있다. 또한 크기가 데스크탑 컴퓨터 사이즈이기 때문에 가반성이 뛰어나며, 운송용 카트에 infi TOF를 실어서 사용자가 직접 측정 현상 부근으로 운반할 수 있지만, 100V 전원으로 작동하므로 위치를 선택할 수 없다.


.........................................⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행) 2023년 8월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단 전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다.

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