1. 서 론

지금까지 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC 그림 1)의 역사를 되돌아보았다. 97~98회에서는 MFC 기술의 흐름을 설명하였고, 이번에는 MFC 제품 기술 동향을 살펴보면서 MFC의 역사를 이해하고 그 지식을 정리하려고 한다.

지난번에도 언급했지만 MFC의 참모습을 이해하고 있는 세대, 필자에게 가르침을 받은 세대는 일선에서 물러나 있다. 그래서 필자는 MFC를 다음 세대에 알려야 한다고 생각하며 연재를 한다. 이번에도 구체적인 기업명이나 제품명도 등장하는데, 혹시 필자의 설명에 오류가 있다면 지적해 주길 바란다. 문헌으로 남겨진 자료가 많지 않고, 필자의 기억과 보유한 자료에만 의존하고 있기 때문이다.

2. MFC의 탄생

열식 유량계가 탄생하고 유량 제어 밸브, 조절계와 일체화된 MFC의 기원에 대해서는 여러 가지 설이 있다. 필자가 업계에 입문할 때 ‘MFC는 NASA에서 탄생했다’고 배웠다. 당시 아폴로 계획에 사용하기 위해 열식 유량계가 개발되었고, 거기서 MFC의 모습을 갖추었다. 미국 MFC 제조업체의 원조 격인 유닛 인스트루먼트(Unit), 타이란(Tylan), 브룩스(Brooks)의 창업자가 참여했다는 이야기를 들었다. (지금 생각해보면) 내용이 다소 모순되는 부분도 있고, 어떤 형태로든 업체와 관련된 사람이 NASA나 아폴로 계획에 관여했을 텐데, 다소 허상이 들어간 것 같다. 세 회사 중 유일하게 남아 있는 브룩스의 홈페이지에는 “1970년대에 아폴로 우주선의 산소량 정밀 측정에 처음 사용된 MFC가 타이란 RC-260이라는 명칭으로 시판되기 시작했습니다. 이를 통해 반도체 제조업체들은 처음으로 공정 가스의 자동 제어를 통해 처리량과 수율을 산업 수준으로 끌어올릴 수 있게 되었습니다”라고 소개했다. 필자는 우주비행사를 위한 산소량 측정이 NASA에서 사용된 MFC, 즉 열식 유량계의 기원이라고 배웠는데, 이것은 MFC가 아닌 유량 측정용 질량 유량계(이하 MFM, 그림 2)에 대한 응용이 아니었을까? 호흡용 공기(일정량의 산소를 함유한 기체)의 유량 제어에 MFC를 이용하는 것은 의료용 산소 농축 장치에서도 주류가 아니기 때문이다. 그 이유는 연재를 보고 계신 독자라면 짐작하지 않을까? 사람의 호흡처럼 유량이 오버슈팅이나 언더슈팅 등의 제어 불량을 일으켰다면 어떻게 될까? 20여 년 전 ‘산소 농축기에 MFC를 사용해 보고 싶다’는 고객의 요청을 필자가 거절한 기억이 있다. 생명을 직접적으로 좌우하는 용도에는 “MFC를 사용하지 않는다”는 것이 필자의 오랜(MFC 영업 생활의) 신조였다.

............................  ⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)
2024년 6월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다. 원문을 원하시면 당사로 연락바랍니다

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